1
2D 材料晶体管告别实验室:imec 联手台积电、ASML 实现 50nm 栅距 300mm 晶圆验证
IT之家 6 月 19 日消息,比利时微电子研究中心(imec)联合 ASML 和台积电宣布,在一片 300mm 晶圆上成功集成采用原子级二维(2D)材料沟道的 n 型和 p 型互补晶体管,并实现 50nm 接触栅极间距(Contacted Poly Pitch,CPP,从一个晶体管到另一个晶体管的…
IT之家 6 月 19 日消息,比利时微电子研究中心(imec)联合 ASML 和台积电宣布,在一片 300mm 晶圆上成功集成采用原子级二维(2D)材料沟道的 n 型和 p 型互补晶体管,并实现 50nm 接触栅极间距(Contacted Poly Pitch,CPP,从一个晶体管到另一个晶体管的…