1 🔧 开发工具 IT 之家 2026-07-24 💬 俄企业成功开发 150nm 电子束直写光刻原型系统 IT之家 7 月 24 日消息，据俄罗斯媒体 CNews 当地时间 20 日报道， 该国企业泽列诺格勒纳米技术中心已于今年 6 月成功开发出 150nm 电子束直写光刻原型系统 ，这一设备的名称似乎可以意译为 "Progress ELL 150"。 泽列诺格勒纳米技术中心负责人表示，目前正对两套原型… 俄企业成功开 电子束直写光 刻原型系统