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国产芯片制造装备再突破，北方华创发布 12 英寸先进气体团簇离子束刻蚀设备 Acme Glaion130
IT之家 6 月 2 日消息，北方华创今日发布全新 12 英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备 Acme Glaion130。 该设备突破三大核心技术瓶颈， 覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及 AR / VR 应用场景 。 随着集成电路制程向先进节点迈进，芯片特征尺寸进入原子级，对加工精度、表面…
IT之家 6 月 2 日消息，北方华创今日发布全新 12 英寸气体团簇离子束（GCIB）刻蚀设备 Acme Glaion130。 该设备突破三大核心技术瓶颈， 覆盖先进逻辑、存储、封装、硅光芯片及 AR / VR 应用场景 。 随着集成电路制程向先进节点迈进，芯片特征尺寸进入原子级，对加工精度、表面…