1 🔧 开发工具 IT 之家 2026-06-09 💬 尼康宣布开发新款半导体后端工艺数字光刻机：1.5μm 分辨率，效率提升 30% IT之家 6 月 9 日消息，尼康 (Nikon) 在 2025 年 7 月的时候曾宣布推出其首款面向半导体后端工艺的图案化系统 DSP-100 ，这一设备拥有 1μm 分辨率和每小时 50 片 510mm×515mm 基板的处理器能力。 而在当地时间本月 5 日，尼康宣布将开发一款 分辨率较低 (… 尼康宣布开发 新款半导体后 端工艺数字光 刻机 分辨率