1
尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率 1.5μm、明年上市
IT之家 10 月 14 日消息，尼康公司昨日发布面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm（线宽 / 线距）， 每小时可处理 72 块面板 ， 计划 2027 年 4 月上市 。 据介绍，这款产品是 DSP-100 的升级版本，面向半导体后道工序。该产品针对 1.5μm（L/…
IT之家 10 月 14 日消息，尼康公司昨日发布面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm（线宽 / 线距）， 每小时可处理 72 块面板 ， 计划 2027 年 4 月上市 。 据介绍，这款产品是 DSP-100 的升级版本，面向半导体后道工序。该产品针对 1.5μm（L/…