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目标 2029 年不依赖 EUV 光刻机实现等效 5nm 的全国产方案，国内首条二维半导体工程化示范工艺线全线贯通
IT之家 7 月 10 日消息，原集微科技宣布，7 月 9 日，由原集微建设的世界首条 8 英寸二维半导体中试线正式启用，这是国内也是世界首条二维半导体工程化示范工艺线。 IT之家获悉，该工艺线于今年 1 月完成点亮，仅半年多时间完成全部设备二次调试与工艺优化。区别于实验室小型试制平台， 当前整条产…
IT之家 7 月 10 日消息，原集微科技宣布，7 月 9 日，由原集微建设的世界首条 8 英寸二维半导体中试线正式启用，这是国内也是世界首条二维半导体工程化示范工艺线。 IT之家获悉，该工艺线于今年 1 月完成点亮，仅半年多时间完成全部设备二次调试与工艺优化。区别于实验室小型试制平台， 当前整条产…