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能耗更低、无锡污染，马斯克暗示 Terafab 晶圆厂将采用 FEL EUV 光源
IT之家 8 月 12 日消息，埃隆 · 马斯克的“Terafab”计划可能会采用一种全新的 EUV 光源方案。据马斯克暗示，该设施可能使用自由电子激光器（FEL），取代目前 ASML 采用的激光产生等离子体（LPP）光源。马斯克在回应社交平台 X 上的相关帖子时写道：“自由电子激光器万岁”（FEL…
IT之家 8 月 12 日消息，埃隆 · 马斯克的“Terafab”计划可能会采用一种全新的 EUV 光源方案。据马斯克暗示，该设施可能使用自由电子激光器（FEL），取代目前 ASML 采用的激光产生等离子体（LPP）光源。马斯克在回应社交平台 X 上的相关帖子时写道：“自由电子激光器万岁”（FEL…